연구성과
Research Activities
새로운 반도체 소재/소자 개발을 통해
제2의 반도체 기술혁명을 주도하고자 합니다
  • EMC ANALYZER
    설치장소 : L6215
    책임자 : 장준연
    소속연구단 : 차세대반도체연구소장실
  • 자기력현미경
    설치장소 : L6215
    책임자 : 장준연
    소속연구단 : 차세대반도체연구소장실
  • INFRARED THERMAL CAMERA
    설치장소 : L6320
    책임자 : 현도빈
    소속연구단 : 전자재료연구단
  • 임피던스 특성분석기
    설치장소 : L0171
    책임자 : 정병기
    소속연구단 : 전자재료연구단
  • 스퍼터 박막증착 장비
    설치장소 : L4624
    책임자 : 정병기
    소속연구단 : 전자재료연구단
  • 박막형성용 동시증발장비
    설치장소 : L4623
    책임자 : 정병기
    소속연구단 : 전자재료연구단
  • 분광계용 CCD 검출기
    설치장소 : L0172
    책임자 : 정병기
    소속연구단 : 전자재료연구단
  • 직류플라즈마증착장치
    설치장소 : L4624
    책임자 : 이욱성
    소속연구단 : 전자재료연구단
  • 마이크로 플라즈마를 이용한 화학기상 증착 장비
    설치장소 : L0283
    책임자 : 이욱성
    소속연구단 : 전자재료연구단
  • 헬륨-3 냉동기
    설치장소 : L4624
    책임자 : 이수연
    소속연구단 : 전자재료연구단