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KIST 한국과학기술연구원 Korea Institute of Science and Technology

마이크로나노펩센터

21세기 신 산업혁명을 주도할 첨단 기술개발을 위해 1997년 KIST에 청정 연구동을 설립하여 Clean Room 및 관련 최첨단 장비와 설비를 구축하고 MEMS 및 Micro/Nano 기술에 대한 특성화된 첨단기술을 개발함으로써 누구나 쉽고 편리하게 관련 인프라를 활용할 수 있도록 지원하고 있습니다.

마이크로나노팹센터 전용 홈페이지 및 연구장비 공동활용 홈페이지를 이용하여 실시간 예약시스템을 통한 단일 공정 서비스 이외에 장비의 일부를 자유롭게 이용할 수 있도록 개방하여 신속하고 정확한 공동활용 서비스를 제공하고 있으며, 원내 및 대학, 연구소, 기업 대상으로 일괄/맞춤형 공정 서비스를 진행하고 있습니다.

KIST 내 크린룸 (Class 10, 100, 1000급의 150평)및 관련 연구를 위한 부대시설을 갖춘, 연면적 2,013평, 지하 1층, 지상 4층 규모의 청정 연구동 완공하여 15년 동안 단계적으로 MEMS/NANO 연구를 위한 최첨단 장비 및 설비 구축을 하고 있습니다.

연간 개방형 장비 활용 교육과 안전시설 교육을 통해 사용자 그룹을 확대하여 공정장비의 효과적인 활용 제고 및 직접 공정 수행을 통한 공정의 이해도 증진 및 교육으로 이용자가 효과적으로 장비를 활용하도록 지원하고 있습니다.

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